一般稱電導率小于0.1μS/cm的純水為高純水。在工藝條件下制備的高純水，雜質近乎為零。高純水電導率(或電阻率)是水質要求關健指標。
高純水制備的典型工藝流程如下：
源水→過濾→活性炭過濾器(或有機大孔樹脂吸附器)→反滲透器(或電滲析器)→陽離子交換柱→陰離子交換柱→混合離子交換柱→有機物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水。
制定高純水標準主要依據：
(1).微電子工藝對水質的要求；
(2).制水工藝的發展水平；
(3).水中雜質監測技術的現狀等。
目前，在1G(及以上)位超大規模集成電路制造中，對高純水的技術要求很嚴。
電極常數標定：用標準純水(已知電導率值)作為標定溶液，標定電極常數。標定前用高純水把電極清洗干凈，并用慮紙吸干水分，再用標定純水適量沖洗。
十分感謝高純水領域的工程師們在測量應用工藝方面的經驗、探索和創新。
